2004

Founded ATS Co., Ltd. in Korea
Established as a precision vacuum component manufacturer.


2005–2008

Started mass production of large-scale Gate Valves.
Secured major orders for Gen 5.5 ~ Gen 8 OLED and LTPS equipment.
Began overseas exports to Japan.


2009–2012

Expanded supply to global display manufacturers including BOE and LG Display.
Delivered Gate Valves for Dry Etcher, Sputter, and OLED Evaporation systems.
Established in-house R&D center.


2013

Successfully developed and delivered 10G-class large-size Gate Valves
(Up to 2950mm class for OLED applications).


2014–2015

Supplied Gate Valves for 8G and 10.5G display production lines.
Expanded China service network (Guangzhou / Hefei / Ordos).
Launched official Overhaul business in China.


2017–2018

Received large-volume Overhaul orders for 6G and 8G equipment.
Established expanded factory infrastructure in Pyeongtaek, Korea.
Opened China Hefei Service Center.


2020–2024

Delivered over 7,000 large-scale Gate Valves globally.
Performance verified by Samsung Electronics and LG Display.
Expanded product portfolio to include:

  • Vertical Gate Valves

  • Pendulum Valves

  • Vacuum Robots

  • Vacuum Transfer Systems


2004년

ATS 설립
정밀 진공 부품 제조 전문 기업으로 출범


2005–2008년

대형 게이트 밸브 양산 시작
5.5세대~8세대 OLED 및 LTPS 장비용 게이트 밸브 수주
일본 시장 수출 개시


2009–2012년

BOE 및 LG디스플레이 등 글로벌 디스플레이 제조사 공급 확대
Dry Etcher, Sputter, OLED 증착 장비용 게이트 밸브 납품
기업부설 연구소 설립


2013년

10G급 OLED 대형 게이트 밸브 개발 및 납품
(최대 2950mm급 대응)


2014–2015년

8G 및 10.5G 디스플레이 생산라인용 게이트 밸브 공급
중국 광저우·허페이·오르도스 서비스 네트워크 확장
중국 현지 Overhaul 사업 본격화


2017–2018년

6G 및 8G 장비 대규모 Overhaul 수주
평택 본사 및 공장 인프라 확장
중국 허페이 서비스센터 설립


2020–2024년

전 세계 7,000대 이상 대형 게이트 밸브 납품
삼성전자 및 LG디스플레이 성능 검증 완료
제품 라인업 확대:

  • 수직형 게이트 밸브

  • 펜듈럼 밸브

  • 진공 로봇

  • 진공 이송 시스템


2004年

成立 ATS Co., Ltd.
作为精密真空核心部件制造企业正式成立。


2005–2008年

开始大型 Gate Valve 的量产。
获得 5.5代至 8代 OLED 及 LTPS 设备订单。
启动日本市场出口业务。


2009–2012年

扩大向 BOE、LG Display 等全球显示制造企业供货。
为 Dry Etcher、Sputter、OLED 蒸镀设备提供 Gate Valve。
成立企业附属研发中心。


2013年

成功开发并交付 10代级(10G)大型 OLED Gate Valve。
(最大尺寸达 2950mm 级)


2014–2015年

为 8G 及 10.5G 显示生产线提供 Gate Valve。
扩展中国广州、合肥、鄂尔多斯服务网络。
正式开展中国本地 Overhaul 事业。


2017–2018年

获得 6G 及 8G 设备大规模 Overhaul 订单。
扩建韩国平泽总部及工厂基础设施。
设立合肥服务中心。


2020–2024年

全球累计交付 7,000 台以上大型 Gate Valve。
通过三星电子及 LG Display 性能验证。
产品线扩展至:

  • 立式 Gate Valve

  • 摆动阀(Pendulum Valve)

  • 真空机器人

  • 真空传输系统