Process Chamber와 Transfer Chamber 사이에 들어가는 밸브
LL 와 Transfer Chamber 사이에 들가는 밸브
대기(ATM)과 진공 쳄버에 연결되는 게이트 밸브
Sputter(PVD)용 수직형(버터컬, Verticcal) Gate Valve
대형쳄버 하부 TMP 또는 CRYO PUMP 위단에 연결되는 밸브